一种磁控溅射靶组件
一种用于热丝薄膜沉积的热丝固定组件
一种线槽组件以及电控模组
一种超高真空磁控溅射靶以及磁控溅射装置
一种矩形平面溅射靶
一种热丝CVD设备
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多功能磁控溅射双进气系统
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